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‘자율차 눈’ 라이다 센서, 값싼 실리콘으로 만든다국내 연구팀, 실리콘 초박막화 기술 이용...라이다 제작 비용 10분의 1 이하로 낮춰
실리콘 반도체 기반 라이다 센서를 사용하면 사람의 눈에 피해를 주지않고 주변 장애물을 식별할 수 있다.(그래픽=연세대 안종현 교수 제공)

[e경제뉴스 이춘영 기자] 자율자동차 핵심기술의 하나인 장애물 감지용 라이다 센서가 국내연구진에 의해 개발됐다. 사람 눈에 해를 끼치지 않는 단파 적외선을 이용해 라이다 광센서를 저렴한 실리콘으로 제작하는 기술을 개발한 것이다.

한국연구재단은 연세대학교 안종현 교수 연구팀과 대구경북과학기술원 이재동 교수 연구팀이 장애물 감지용 라이다 센서 기술을 개발했다고 30일 밝혔다.

기존 단파 적외선을 감지할 수 있는 라이다 센서는 인듐갈륨비소(InGaAs)계 화합물 반도체로 만들어 제작비용이 높다.

실리콘 반도체는 단파 적외선을 감지할 수없어 지금까지 라이다 센서에 적용되지못했다.

연구팀은 우선 10nm이하의 초박막 실리콘을 제작하고 변형 제어 기술을 통해 실리콘의 전자구조를 변화시켜 라이다 센서를 개발했다.

실리콘 반도체의 전자구조를 변형시키기 위해서는 높은 변형을 가해야만 가능하다. 하지만 실리콘은 부서지기 쉬워 변형을 가할 수 없다는 게 문제였다.

이러한 문제를 극복하기 위해 기존 실리콘 웨이퍼를 식각공정을 통해 10nm이하의 초박막 상태로 만들어 높은 변형 하에서도 부서지지 않도록 유지시켜 단파 적외선을 감지할 수 있는 실리콘 광센서를 제작했다.

연구팀은 이 실리콘 광센서가 자율주행차와 다양한 보안장치에 응용될 수 있을 것으로 보고 있다.

안종현 연세대 교수(왼쪽)와 이재동 DGIST 교수(사진=한국연구재단 제공)

안종현 교수는 "이번 결과가 아직은 가능성을 확인하는 수준의 기초 연구에 불과하지만 실리콘 라이다 센서가 상업화된다면 국내 자동차, 반도체, 센서 산업에 크게 기여를 할 것"이라고 말했다.

이번 연구 성과는 국제학술지 사이언스 어드밴시스(Science Advances)에 30일 게재됐다.

 

이춘영 기자  economynews@daum.net

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