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이재용, 코로나에도 글로벌 현장경영 계속...ASML과 EUV 협력 논의

[e경제뉴스 김아름내 기자] 이재용 삼성전자 부회장이 네덜란드 ASML 본사 임직원을 만나 차세대 반도체 기술개발 의견을 나눴다. 이번 미팅에는 김기남 삼성전자 DS부문장 부회장이 배석했다. 

이재용 삼성전자 부회장이 13일(현지시간) 네덜란드 에인트호번에 위치한 ASML 본사를 찾아 EUV 장비를 살펴보는 모습 (사진= 삼성전자)

14일 삼성전자는 이 부회장이 피터 버닝크(Peter Wennink) CEO, 마틴반 덴 브링크(Martin van den Brink) CTO 등을 만나 ▲7나노 이하 최첨단 반도체 생산에 필수적인 EUV(Extreme Ultra Violet) 장비 공급계획 및 운영 기술 고도화 방안 ▲AI 등 미래 반도체를 위한 차세대 제조기술 개발협력 ▲코로나19 사태 장기화에 따른 시장 전망 및 포스트 코로나19 대응을 위한 미래 반도체 기술 전략 등을 논했다고 전했다. 이 부회장은 ASML의 반도체 제조장비 생산공장을 방문해 EUV 장비 생산 현황도 살폈다.

버닝크 CEO 등 ASML 경영진은 앞서 2016년 11월 삼성전자를 방문한 바있다. 이 부회장은 지난해 2월  ASML 경영진을 프랑스 파리 만나 반도체 산업에 대한 의견을 나눴다.

삼성전자는 차세대 반도체 구현을 위해서는 EUV 기술이 필요하다고 판단해 2000년대부터 ASML과 초미세 반도체 공정 기술 및 장비 개발을 위해 협력해 왔다. 2012년에는 ASML에 대한 전략적 지분 투자를 통해 파트너십을 강화했다. 

EUV 노광 기술은 극자외선 광원을 사용해 웨이퍼에 반도체 회로를 새기는 기술이다. 기존 기술보다 세밀한 회로 구현이 가능해 인공지능(AI)·5세대(5G) 이동통신·자율주행 등에 필요한 최첨단 고성능·저전력·초소형 반도체를 만드는데 필수적이다. 

EUV 관련 기술적 난제 해결을 위해 삼성전자와 ASML은 ▲EUV에 최적화된 첨단 반도체 소재 개발 ▲장비 생산성 향상 ▲성능 개선 등의 협력을 이어오고 있다.

삼성전자는 최근 시스템반도체에 이어 최첨단 메모리반도체 분야까지 EUV의 활용 범위를 확대해 가고 있으며, 특히 파운드리 사업이 빠르게 성장하면서 두 회사 간 협력 관계도 확대되고 있다. 

한편 이재용 부회장은 1월 브라질, 코로나19 상황속에서 5월 중국 방문 이후 5개월만에 네덜란드를 찾아 글로벌 현장 경영을 이어갔다. 

김아름내 기자  hope0021@daum.net

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